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上海懿宏科学仪器有限公司

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 氦质谱检漏仪


安捷伦氦质谱检漏仪,是一款安捷伦生产的进口氦质谱检漏仪。



氦质谱检漏仪(MSLD)
选择性氦离子探测仪(SIPD)

便携式
台式
移动式
移动式
目?计划?槭?/span>
手持吸枪式
订货号
G8600A
G8600B
G8602A
G8602B
G8601A
G8601B

G8603A

型号
VS PR02
VS PD03
VS BR15
VS BD30
VS MR15
VS MD30
959
VS C15
PHD-4
前级泵

DS 42
油封旋片泵

干式泵
组合
DS 302
油封旋片泵

TriScroll 620
旋涡式干泵

DS 302 油封旋片泵
TriScroll 620
涡旋式干泵
涡旋式干泵或油封旋片泵
分子泵
名义抽速m3/hr (l/min)
2 (34)
3 (50)
14 (232)
30 (500)
14 (232)
30 (500)
根据需要选配
根据需要选配
最小可检漏
5 x 10-12 atm cc/sec: 5 x 10-12 mbar l/s: 5 x 10-13 Pa m3/sec
2 x 10-9 atm cc/sec
5 x 10-10 atm cc/sec
5 x 10-6 atm cc/sec
5 x 10-6 mbar l/s
5 x 10-7 Pa m3/sec
最大测试口压力
13 mbar: 10 Torr: 1330 Pa
1 Torr
5 Torr, 7 mbar, 667 Pa
校准
自动或手动(内部或外部)
手动
自动或手动(内部或外部)
氦本底清零
一键式自动清零(自动本底追踪)
手动
一键式自动清零(自动本底追踪)
自动或手动
通讯接口
RS232 和analog (标配)、I/O 接口(选配)
Analog
RS232, analog, I/O 接口,和Profinet
Analog 和RS-232串口(标配)
设定点
5 个设定点(N/O 或N/C)(3 个漏率,1 个压力快3计划,1 个音频)
与VS 系列相同

远程显示/控制
可选件
可选件

标准
CE, UL/CSA
UL/CSA, CE Approved
CE, CSA/US


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